屬性

自造者成果

技術或專利歸屬權

工業技術研究院

技術或專利說明摘要

本技術於太陽能電池產線各製程站可量測參數如下圖所示, 包括晶圓進料品檢(外觀/微裂/翹曲/saw mark/厚度)、濕製程粗化深度/反射霧度量測、光學抗反射膜層反射光譜/膜厚/均勻性量測、電路印刷瑕疵檢測/銀膠三維形貌量測、雷射絕緣製程隔離溝三維形貌量測、終檢(隱瑕疵/色均/外觀)等量測參數。

本技術亦建立太陽能電池產線的轉換效率模型,透過CIM 讀取各製程及檢測資料,可即時進行EDA 要因分析與診斷導致不良品的嫌疑設備,作為製程調整的決策依據。

Solar cell in-line AOI technology can provide the measurement parameters as shown in following figure. By build-in cell efficiency model and analyzing real-time CIM data (EDA), it delivers process adjustment recommendation.

產業別

太陽能電池產業

技術或專利應用範圍

光電產業,半導體產業,顯示器產業

聯絡人資訊

戴鴻名 (工研院量測中心R000)
TEL. 03-5732295
E-mail : hmtai@itri.org.tw

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